下载N型层粗化的LED生长方法的技术资料

文档序号:10671010

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本发明实施例提供一种N型层粗化的LED生长方法。该方法包括:在衬底的上表面通入金属源和氨气,通过所述金属源和氨气反应,在所述衬底的上表面形成无定型的缓冲层;在所述无定型的缓冲层的上表面生长非掺杂层;在所述非掺杂层的上表面生长重掺杂的N型层,...
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