下载一种掩膜板检测装置和方法的技术资料

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本发明的目的是提供一种掩膜板检测装置和方法,其中所述装置包括:设置在检测板表面的多个光敏电阻,其中所述掩膜板上每个透光区域的位置与所述光敏电阻的作用区域对应;检测板用于当平行光通过掩膜板上的透光区域照射到多个光敏电阻上时,检测多个光敏电阻的...
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