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本发明公开了一种电子束缺陷扫描装置，用于在抗反射层制备之前对晶圆进行电子束缺陷扫描。该装置包括电子束缺陷扫描机台；用于承载经电子束缺陷扫描后的晶圆导电基座，该导电基座接地以消除该晶圆上残留的负电荷；用于将晶圆从晶圆传送盒中传递至电子束缺陷扫...
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