下载石英坩锅脱模阻隔剂及其使用方法的技术资料

文档序号:10657605

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本发明提供一种石英坩锅脱模阻隔剂及其使用方法,该石英坩锅脱模阻隔剂包含99wt%以上的氮化硅(Si3N4),以及小于1wt%的杂质,又在氮化硅(Si3N4)中,β相的氮化硅所占的比例为60%~99%,该方法包含混合步骤、喷涂步骤以及成膜步骤...
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