温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种蓝宝石衬底晶片的线切割装置，包括芯轴(1)和外套(2)；所述芯轴(1)上套装外套(2)；所述芯轴(1)的两端分别设置有左轴承(5)和右轴承(6)。所述的芯轴(1)和外套(2)之间通过锁紧螺丝(3)相互固定。所述芯轴(1)...
该专利属于上海超硅半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海超硅半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。