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具有保护层的干刻蚀外盖结构制造技术
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下载具有保护层的干刻蚀外盖结构的技术资料
文档序号:10643533
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本实用新型有关于一种具有保护层的干刻蚀外盖结构,其包括:外盖本体;以及保护层。外盖本体并具有多个刻蚀孔,在干刻蚀工艺中,外盖本体用以遮盖多个干刻蚀目标物,并自每一个刻蚀孔露出一个干刻蚀目标物。借由本实用新型的实施,可以避免干刻蚀工艺中使用的...
该专利属于聚昌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过聚昌科技股份有限公司授权不得商用。
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