下载一种电控光阀被动式发光器件及其制备工艺的技术资料

文档序号:10643226

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本发明公开了一种电控光阀被动式发光器件的制备工艺,包括以下步骤:(1)在玻璃衬底上沉积碳纳米管薄膜或者石墨烯薄膜并图形化形成电控光阀层;(2)在电控光阀层上沉积绝缘膜层并图形化使部分电控光阀层露出;(3)在所述绝缘膜层上沉积TFT管,所述T...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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