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本实用新型提供一种平面等离子发生器，包括工作架，其中，还包括真空室、电感线圈、绝缘体、屏蔽筒、真空隔离装置、射频匹配器、射频源及电源地；所述工作架置于所述真空室中，将所述电感线圈设置于所述绝缘体中，同时将所述绝缘体设置于所述真空室中，所述电...
该专利属于北京吉兆源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京吉兆源科技有限公司授权不得商用。

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