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多晶硅提纯或铸锭环节中应用的具有排杂功能的坩锅及多晶硅提纯或铸锭方法技术
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文档序号:10610063
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多晶硅提纯或铸锭环节中应用的具有排杂功能的坩锅,包括柱状的锅体,在锅体的侧壁上设有溢流孔,在锅体的外侧位于溢流孔的下部设有收集槽;溢流孔的底边距锅体内侧底面的高度H=H液+(H固-H液)20%,其中H液为多晶硅液态时在锅体内的液面高度,H固...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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