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一种并联接触式RF MEMS开关，其特征在于：包括包括衬底，设于衬底上的CPW地线，与CPW地线连接的金属桥膜，在金属桥膜的下方设有下拉电极与CPW信号线，在CPW信号线上设有接触点。并联接触式RFMEMS开关具有较低的工作频率，甚至可以控...
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