温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供一种玻璃钝化器件光刻机的自动对位装置，包括光刻机模板和光源，所述光刻机模板，模板的一次相模对应点，设置为二个正方形对应点，二次相模对应点右移一位后设置为小圆点对应点，三次相模对应点，设置为小圆点对应点；所述光源，设置为同轴的二...该专利属于上海旭福电子有限公司;敦南微电子（无锡）有限公司;敦南科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海旭福电子有限公司;敦南微电子（无锡）有限公司;敦南科技（无锡）有限公司授权不得商用。