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本实用新型公开了一种薄悬臂梁压阻式加速度计，该薄悬臂梁压阻式加速度计包括玻璃、顶硅、底硅、氧化层；玻璃上表面有顶硅，顶硅与玻璃之间通过阳极键合，顶硅和底硅之间设置有氧化层。本实用新型的薄悬臂梁压阻式加速度计，由于SOI衬底中间有氧化层，所以...
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