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本实用新型公开了一种晶圆承盘结构，包括：承盘本体，具有一顶端面板及一底端面板，在顶端面板成型有一承载槽，承载槽用以供晶圆容置，在底端面板成型有至少一连通贯孔，连通贯孔与承载槽连通，每一连通贯孔供复数推杆通过，各推杆用以推抵晶圆，使晶圆离开承...
该专利属于晨州塑胶工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晨州塑胶工业股份有限公司授权不得商用。

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