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利用液体传递兆赫级振动的超声抛光方法及其抛光装置，涉及一种抛光方法及其装置，该方法通过柔性的耦合剂传递振动，将振子的高频超声振动传递到振动抛光工具上；实现了不依赖于整体模态分析与模态设计的振动抛光工具。并将该方法应用在硅片抛光领域，设计了一...
该专利属于辽宁工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过辽宁工业大学授权不得商用。

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