下载磁体单元和包含所述磁体单元的溅射设备的技术资料

文档序号:10580015

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本发明提供一种磁体单元,包含至少一个磁体单元,所述至少一个磁体单元分别包含第一磁体和与所述第一磁体分开且设置在所述第一磁体外部的第二磁体,其中所述第一磁体和所述第二磁体具有彼此不同的极性,且所述磁体单元具有约1∶0.5到约1∶2的所述第一磁...
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