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本发明涉及一种用于对基板进行沉积工序的溅射装置，提供一种溅射装置、薄膜形成方法及有机发光显示装置的制造方法，溅射装置包括：腔室，配置有基板并且包括实现基板的沉积工序的沉积空间；旋转型靶，在所述腔室内配置为与所述基板相对；内部磁铁部件，配置在...
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