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本发明涉及一种ITO薄膜的制备方法及ITO薄膜，该ITO薄膜的制备方法包括提供玻璃衬底，对所述衬底进行加热，并将所述衬底维持在220～310℃以及在氧化性气体氛围中，在所述衬底上制备ITO薄膜，其中，所述氧化性气体选自N2、NO及NO2中的...
该专利属于宜昌南玻显示器件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宜昌南玻显示器件有限公司授权不得商用。

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