下载高纯度钛锭、其制造方法及钛溅射靶的技术资料

文档序号:10572023

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一种钛锭,其为除了添加元素和气体成分以外的纯度为99.99质量%以上的高纯度钛锭,其特征在于,含有合计0.1~100质量ppm的选自S、P或B中的一种以上非金属元素作为添加成分,在同一锭内的上部、中间部、底部的非金属元素的偏差为±200%以...
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