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旨在提供利用光压印法制备的并具有良好的图案精度和图案缺陷改善的光固化物。本发明提供通过将与模具接触的涂布膜用光照射获得的光固化物，该光固化物含有含氟原子表面活性剂，其中在通过光固化物的基于飞行时间二次离子质谱法的表面分析获得的二次离子信号中...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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