温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种聚酰亚胺膜固化方法，其包括如下步骤：将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至100℃～140℃，保温0.5～1小时；将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至190℃～210℃，保温1～2小时；将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环...
该专利属于无锡华润上华半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。