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气体浓度计算装置及气体浓度测量模块制造方法及图纸
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文档序号:10558870
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具备:气室(10X),其形成导入对象气体的导入空间(11X);红外光源(20X),其配置于气室(10X)的一端;调制镜(70X),其配置于气室(10X)的一端,且使自红外光源(20X)放射的光反射或透过;反射镜(60X),其使已透过调制镜(...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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