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本发明的无机聚硅氮烷树脂是所包含的硅原子与氮原子的比率Si/N为1.30以上的无机聚硅氮烷树脂。这样的Si含量高的无机聚硅氮烷树脂例如可通过如下方法等方法来制造：将同时包含Si-NH和Si-Cl的无机聚硅氮烷化合物加热，使NH与Cl进行反应...
该专利属于AZ电子材料(卢森堡)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AZ电子材料(卢森堡)有限公司授权不得商用。

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