下载沉积装置和应用于沉积装置的掩模组件的技术资料

文档序号:10549586

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本发明提供了一种沉积装置和掩模组件,所述沉积装置包括:掩模框架,具有框架开口;掩模,结合到掩模框架的上表面并且被构造为覆盖框架开口;延伸构件,被布置在框架开口的边缘的至少一部分上,并且被构造为从掩模框架的上表面突出并使掩模的与框架开口相对应...
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