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提供了一种沉积装置，构造为对基底执行沉积工艺，所述沉积装置包括：腔室，在表面中具有排放开口；沉积源，位于腔室中，构造为向基底喷射一种或多种沉积材料；冷却板，对应于腔室的内表面，排放开口形成在冷却板处；冷冻机，接触冷却板；以及泵，结合到排放开...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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