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本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种膜层刻蚀防损伤监控设备，该监控设备包括腔室，所述腔室中设有光源和若干个光感探头，所述光源向基板上的所述膜层照射，所述光感探头用于感应所述膜层的透光率。本实用新型提供的膜层刻蚀防损伤监控设备，结构简单，...
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