下载半导体测试结构及测试方法的技术资料

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一种半导体测试结构及测试方法,所述半导体测试结构包括:待测试PMOS晶体管的源极、漏极与第一测试端和第二测试端相连接,所述待测试PMOS晶体管的栅极与第三测试端相连接;加热单元、调节电阻和控制NMOS晶体管的源极、漏极串联形成串联结构,所述...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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