温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种半导体生产设备的数据传输处理方法和系统。该数据传输处理方法包括如下步骤：接收从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的半导体生产设备的运行数据；对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。