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本发明描述了具有基层和抛光表面层的抛光垫。在实施例中，用于抛光衬底的抛光垫包括基层。抛光表面层与基层结合。还描述了用于制作具有与基层结合的抛光表面层的抛光垫的方法。...
该专利属于内克斯普拉纳公司所有，仅供学习研究参考，未经过内克斯普拉纳公司授权不得商用。

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