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公开了一种用于在介电基片(3)的表面内形成两个或多个深度的精细尺度结构(4，4’，4”，5，6，7，8)的设备和方法。在一个示例中，该设备包括：第一固体激光器(12)，其被设置为提供第一脉冲激光束(13)；第一掩模(16)，其具有用于对第一...
该专利属于万佳雷射有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过万佳雷射有限公司授权不得商用。

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