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一种传感器，其包括衬底(16)和锚定至所述衬底(16)的传感器元件(20)，所述衬底(16)和传感器元件(20)的材料不同并且具有不同的热膨胀系数，所述传感器元件(20)和衬底(16)每个具有彼此基本上平行布置的一般平坦的表面；所述传感器还...
该专利属于大西洋惯性系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大西洋惯性系统有限公司授权不得商用。

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