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显示面板以及其包含的薄膜晶体管基板的制备方法技术
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下载显示面板以及其包含的薄膜晶体管基板的制备方法的技术资料
文档序号:10537122
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本发明是有关于一种显示面板以及其包含的薄膜晶体管基板的制备方法,其中该显示面板包括一种薄膜晶体管基板,而该薄膜晶体管基板的制备过程中,是于源极及漏极与多晶硅层间形成一金属薄膜层,并于退火工艺中,同时掺杂以及活化多晶硅层,而形成金属硅化物,如...
该专利属于群创光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过群创光电股份有限公司授权不得商用。
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