下载一种薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:10535336

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本发明提供一种薄膜的制备方法,先取含有氧化镓或氧化铟的金属混合液涂到基底表面,再通过水流或气体对基底表面进行吹扫,从而在基底表面形成纳米量级薄膜。本发明薄膜的制备方法简单,成本低廉,适宜推广使用,可在热管理、机械、电子、化学、半导体、医药卫...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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