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圆形板状物的分割方法技术
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文档序号:10533199
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本发明提供圆形板状物的分割方法,该方法不会增加成本和工序数,能够降低由于芯片飞溅而在圆形板状物上表面上形成刮痕的可能性。在通过切削刀具(33)一边供给切削液一边对交叉的多个第一和第二分割预定线(3A、3B)以下切方式进行完全切割而将工件1分...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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