下载二维纳米柔性运动平台的技术资料

文档序号:10523755

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本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台。所述二维纳米柔性运动平台包括:基座;终端平台,所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧;X向驱动器和Y向驱动器;第一X向柔性解耦件和第一Y向柔性解耦件,所述第一X向柔性解耦件沿X向延伸且分别与所述终端平台和...
该专利属于清华大学;北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;北京航空航天大学授权不得商用。

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