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提供一种重复性优秀、维护容易的半导体晶元的探测试验装置。将供给用于防止探针（11）的氧化的防氧化气体的气体注入口，以包围晶元（14）的外侧面的方式，设置在探针仪内的晶元探测工作台上安装的遮挡构造物（13）的内侧壁。通过从这样的气体注入口，将...
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