下载分离栅极式存储器、半导体器件及其制作方法的技术资料

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一种分离栅极式存储器、半导体器件及其制作方法。分离栅极式存储器额外设置一擦除栅,并将控制栅与擦除栅分别置于浮栅两侧,采用上述结构时,擦除操作不再由控制栅进行,而是由擦除栅进行,因而控制栅所需加的电压可以降低,如此可以减少沟道区的热电子效应,...
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