下载薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置的技术资料

文档序号:10515321

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本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置,涉及显示技术领域,能够有效降低薄膜晶体管边缘漏电流IOFF(edge)。该薄膜晶体管包括有源层、栅极、源极和漏极,所述有源层的侧面上设置有氧化硅层。...
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