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本实用新型公开一种用于批次过程装备的牵引式直线位移及夹持装置，包括正向驱动组件、反向驱动组件和执行组件，执行组件包括第一定板、执行动板、第二定板和导轨，第一定板和第二定板分别设于导轨两端，执行动板通过导轨滑动于第一定板和第二定板之间；第一定...
该专利属于华南理工大学;广州华新科实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学;广州华新科实业有限公司授权不得商用。

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