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本发明公开一种具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层及制备方法。所述具有超高硬度、低摩擦系数的TiSiCN纳米复合涂层是采用多靶磁控溅射仪，由TiSiC复合靶材在依次经抛光、超声波清洗、离子清洗后的基体上进行磁控溅射反应沉积而形...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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