下载一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置的技术资料

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本发明公开了一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置,包括:用于盛放蒸镀材料的坩埚、用于加热所述坩埚的蒸发源本体、带动所述坩埚转动的转盘和驱动所述转盘转动的驱动源部件;所述蒸发源本体内设有容置所述坩埚的空间,所述转盘上设置有通孔,所述转盘活动盖...
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