一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置，包括：用于盛放蒸镀材料的坩埚、用于加热所述坩埚的蒸发源本体、带动所述坩埚转动的转盘和驱动所述转盘转动的驱动源部件；所述蒸发源本体内设有容置所述坩埚的空间，所述转盘上设置有通孔，所述转盘活动盖合在所述蒸发源本体上，所述坩埚穿过所述转盘上设置的通孔放置在所述转盘上，所述坩埚与所述转盘相对固定连接；所述驱动源部件设置于所述蒸发源本体外部，并驱动所述转盘沿所述蒸发源本体的中心轴转动，所述转盘带动所述坩埚沿所述蒸发源本体的中心轴转动。本发明专利技术通过电机控制在蒸发源中旋转，有利于提高坩埚的温度均匀性，从而提高蒸发的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置
本专利技术涉及一种旋转蒸发源装置，特别涉及一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置，OLED显示器制造
。
技术介绍
目前有机发光二极管(OLED, Organic Light Emitting D1de)的主流的制备技术和方法是蒸镀法，即在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属光罩的开孔沉积在玻璃基板上。 在对显示装置的显示器件进行加工制造时，一般采用蒸镀坩埚。蒸镀坩埚具有容置装置，容置装置放置于加热源(例如点源)中，容置装置的开口处安装有坩埚盖，坩埚盖设有蒸发孔。其工作原理为:将蒸镀材料放入容置装置，蒸镀材料包括有机材料；将蒸镀坩埚置于点源中，点源加热蒸镀坩埚使气态蒸镀材料从坩埚盖的蒸发孔均匀蒸发出；坩埚盖的上方设有传感器，传感器用于检测所述气态蒸镀材料的蒸发速度；传感器将检测信号反馈回所述点源，使点源根据蒸镀材料的蒸发速度控制对蒸镀坩埚的加热强度。 在OLED蒸镀设备中，蒸镀材料放在坩埚内，坩埚放在蒸发源中，通过蒸发源内的加热丝给坩埚加热，在真空环境下使蒸镀材料蒸发出来。现本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置，其特征在于，包括：用于盛放蒸镀材料的坩埚、用于加热所述坩埚的蒸发源本体、带动所述坩埚转动的转盘和驱动所述转盘转动的驱动源部件；所述蒸发源本体内设有容置所述坩埚的空间，所述转盘上设置有通孔，所述转盘活动盖合在所述蒸发源本体上，所述坩埚穿过所述转盘上设置的通孔放置在所述转盘上，所述坩埚与所述转盘相对固定连接；所述驱动源部件设置于所述蒸发源本体外部，并驱动所述转盘沿所述蒸发源本体的中心轴转动，所述转盘带动所述坩埚沿所述蒸发源本体的中心轴转动。

【技术特征摘要】
1.一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置，其特征在于，包括: 用于盛放蒸镀材料的坩埚、用于加热所述坩埚的蒸发源本体、带动所述坩埚转动的转盘和驱动所述转盘转动的驱动源部件； 所述蒸发源本体内设有容置所述坩埚的空间，所述转盘上设置有通孔，所述转盘活动盖合在所述蒸发源本体上，所述坩埚穿过所述转盘上设置的通孔放置在所述转盘上，所述坩埚与所述转盘相对固定连接； 所述驱动源部件设置于所述蒸发源本体外部，并驱动所述转盘沿所述蒸发源本体的中心轴转动，所述转盘带动所述坩埚沿所述蒸发源本体的中心轴转动。2.如权利要求1所述的旋转蒸发源装置，其特征在于，所述转盘外沿还设置有多个转动轮；所述转动轮在所述转盘的带动下沿着所述蒸发源本体外沿转动。3.如权利要求2所述的旋转蒸发源装置，其特征在于，所述旋转蒸发源装置还包括底盘，所述底盘上设置有供所述坩埚穿过的通孔； 所述底盘固定设置于所述蒸发源本体的上端面，所述底盘外沿设置有凸缘，所述凸缘的内径略大...

【专利技术属性】
技术研发人员：王路，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11