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文档序号:10489660
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本发明提供一种具有高可靠性的半导体装置。半导体装置具有:元件区域,形成半导体元件;以及周边区域,夹着所述元件区域。周边区域具有第1绝缘层、第2绝缘层、场板电极、以及第1层。第1绝缘层从半导体层的第1位置到位于第1位置上方的第2位置被形成为筒...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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