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本发明公开了一种掩膜板,包括基板,所述基板上包括不曝光区域和部分曝光区域;其中,所述基板的不曝光区域上至少形成有不透光材料层;所述基板的部分曝光区域上形成有部分透光材料层;所述部分曝光区域中的部分透光材料层两端部分的厚度大于中间部分的厚度,...该专利属于北京京东方光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京东方光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种掩膜板,包括基板,所述基板上包括不曝光区域和部分曝光区域;其中,所述基板的不曝光区域上至少形成有不透光材料层;所述基板的部分曝光区域上形成有部分透光材料层;所述部分曝光区域中的部分透光材料层两端部分的厚度大于中间部分的厚度,...