下载氧化物半导体晶体管的技术资料

文档序号:10485114

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本实用新型公开了一种氧化物半导体晶体管,包括:基板;形成在基板上的氧化物半导体层;形成在氧化物半导体层上的栅电极绝缘层;形成在氧化物半导体层上的替代功能层;形成在替代功能层上,位于栅电极绝缘层两侧的源/漏电极。其通过在氧化物半导体层上制备替...
该专利属于昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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