下载一种显影方法及显影装置的技术资料

文档序号:10472858

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本发明提供一种显影方法及显影装置,该方法包括:控制基板相对显影机台向第一方向倾斜第一角度θ1,控制多个喷嘴在与基板平行的第一平面上,将显影液均匀地喷洒到基板上进行显影;控制基板相对显影机台向第二方向倾斜第二角度θ2,控制多个喷嘴在与基板平行...
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