温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种蒸发源及蒸镀装置，蒸发源包括坩埚本体、腔室、蒸镀口和挡止部。坩埚本体包括相对的顶壁和底壁以及连接于所述顶壁和底壁的侧壁。腔室由所述顶壁、底壁和侧壁围绕构成。蒸镀口形成于所述底壁上。挡止部的底端连接于所述蒸镀口周缘，顶端延伸至所...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。