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本实用新型公开了一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，包括圆柱形仓体（1），该仓体的其中一个圆形端面安装有用于向仓体内输入氮气和氧气的进气管（2）、用于向仓体内喷入磷源的喷磷管、用于监控仓体（1）内温度的热偶管（4）和用于排出仓体（1...
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