一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓制造技术

技术编号:10454630 阅读:127 留言:0更新日期:2014-09-18 19:49
本实用新型专利技术公开了一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓,包括圆柱形仓体(1),该仓体的其中一个圆形端面安装有用于向仓体内输入氮气和氧气的进气管(2)、用于向仓体内喷入磷源的喷磷管、用于监控仓体(1)内温度的热偶管(4)和用于排出仓体(1)内废气的排气管(5),进气管(2)位于圆形端面的中心位置,排气管(5)位于圆形端面的底端位置,其特征在于:喷磷管包括上喷磷管(31)和下喷磷管(32);上喷磷管(31)位于圆形端面的顶端位置,下喷磷管(32)位于圆形端面的底端位置,热偶管(4)位于圆形端面的左端或右端位置。本实用新型专利技术能使氮气、氧气和磷源混合均匀,从而使扩散反应更为均匀,扩散效果得到提升。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
—种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓
本技术涉及一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓。
技术介绍
扩散炉反应仓是晶体硅太阳能电池制造过程中硅片进行扩散工序所用到的重要设备,其主要作用是作为硅片扩散工序的反应仓。 如图1所示,现有的扩散炉反应仓包括圆柱形仓体1,该仓体I的圆形端面直径为310_,仓体I其中一个圆形端面安装有用于向仓体I内输入氮气和氧气的进气管2、用于向仓体I内喷入磷源的上喷磷管31、用于监控仓体I内温度的热偶管4和用于排出仓体I内废气的排气管5,进气管2位于圆形端面的中心位置,上喷磷管31位于圆形端面的顶部位置,热偶管4和排气管5均位于圆形端面的底端位置。硅片进行扩散工序前,首先经进气管2向仓体I内输入氮气和氧气,以排出仓体I内的空气,防止硅片氧化;在进行扩散工序的过程中,经上喷磷管31喷入磷源进行反应,并由热偶管4对仓体I内的温度变化进行监控;在进行扩散工序完成后,仓体I内的废气经排气管5排出。 上述现有的扩散炉反应仓存在以下不足:第一,由于氮气和氧气从仓体的中心位置输入,磷源从仓体的顶部位置输入,造成作为工艺气体的氮气、氧气和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓,包括圆柱形仓体(1),该仓体(1)的其中一个圆形端面安装有用于向仓体(1)内输入氮气和氧气的进气管(2)、用于向仓体(1)内喷入磷源的喷磷管、用于监控仓体(1)内温度的热偶管(4)和用于排出仓体(1)内废气的排气管(5),所述进气管(2)位于圆形端面的中心位置,所述排气管(5)位于圆形端面的底端位置,其特征在于:所述的喷磷管包括上喷磷管(31)和下喷磷管(32);所述上喷磷管(31)位于圆形端面的顶端位置,下喷磷管(32)位于圆形端面的底端位置,所述热偶管(4)位于圆形端面的左端或右端位置。

【技术特征摘要】
1.一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓,包括圆柱形仓体(1),该仓体(I)的其中一个圆形端面安装有用于向仓体(I)内输入氮气和氧气的进气管(2)、用于向仓体(I)内喷入磷源的喷磷管、用于监控仓体(I)内温度的热偶管(4)和用于排出仓体(I)内废气的排气管(5),所述进气管(2)位于圆形端面的中心位置,所述排气管(5)位于圆形端面的底端位置,其特征在于:所述的喷磷管包括上喷磷管(31)和下喷磷管(32);所述上喷磷管(31)位于圆形端面的顶端位置,下喷磷管(32)位于圆形端面的底端位置...

【专利技术属性】
技术研发人员:郑淑刚李朝张兴云
申请(专利权)人:晶澳太阳能有限公司
类型:新型
国别省市:河北;13

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