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一种平面电动机驱动的磁悬浮粗微动一体掩模台，该粗微动一体掩模台包括粗微动一体掩模台动台、平衡质量、驱动电动机、掩模板、基座、隔振系统及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上；掩模台动台的驱动电动机为动铁...
该专利属于清华大学;北京华卓精科科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;北京华卓精科科技有限公司授权不得商用。

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