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用在HK/MG程序流程的P型半导体装置制造方法及图纸
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下载用在HK/MG程序流程的P型半导体装置的技术资料
文档序号:10444832
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本揭露涉及用在HK/MG程序流程的P型半导体装置,提供在半导体衬底内具有第一PMOS主动区及第二PMOS主动区的半导体装置结构。硅锗信道层仅形成在第二PMOS主动区上方。栅极电极形成在第一与第二PMOS主动区上方,其中第二PMOS主动区上方...
该专利属于格罗方德半导体公司所有,仅供学习研究参考,未经过格罗方德半导体公司授权不得商用。
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